Future Technologiesフォトコンテスト 2021年応募作品

ナノ部門

NM-1.さくらんぼ豊作（ご当地物?） 峯田貴, 三浦嘉隆（山形大学） シリコン基板内に垂直エッチング（RIE）と等方性エッチングを駆使して形成したマイクロ流路の断面も（薄膜堆積してフタをする途中）･･･山形で作ると“さくらんぼ”に似てきます!?	NM-3.意外と見たことないかもしれません1 -QCM表面- 安藤 毅（千葉工業大学） 実験に使っているQCM表面を観察したときのものです。意外とデコボコしているんだなぁ,という印象です。
NM-4.水戸黄門の最密充填 岩見健太郎（東京農工大学）	最優秀賞 NM-5.まさに「妖精の十字架」? 山口明啓（兵庫県立大学） シンクロトロン光で液体から生成した銅酸化物マイクロ粒子。まるでスタウロライトのような形状。まさに「妖精の十字架」ですね。
優秀賞 NM-6.流氷の到来 小川主税,池沢聡,岩見健太郎（東京農工大学） シリコンのナノサイズの柱が林立している構造を作ろうとして，削り残しが下のほうにまだら状にできてしまった時の写真です。流氷が押し寄せてくる冬のオホーツク海を飛行機から見下ろしたイメージです。	NM-7.逆オパール型フォトニック結晶 小野寺 武（九州大学） 自己組織化で作製したシリカの逆オパール型フォトニック結晶です.空隙の下からその下の層が見えています。シリカの構造にもさらに小さな穴が開いています。 出典

マイクロ部門

UM-1.300ミクロン向こうに輝くデバイス層 戸田雅也（東北大学） 300ミクロンのシリコンウェハを貫通するエッチング。私たちがよく使うこのプロセスによりデバイス層の真円が浮かび上がりました。深掘りの長い道のりを経て浮かび上がったデバイス層はまるで夜空に輝く月のように見えます。	最優秀賞 UM-2.天の川（1/10^25スケール） 益田緋里（慶應義塾大学） この天の川を構成する小さな星々は心臓に存在するコネキシンというたんぱく質です。実際の天の川に負けず劣らず美しいですが，そのスケールはわずか100µm…あなたの心の中にも宇宙は広がっています。
優秀賞 UM-3.たこやき 焼きあがりました 青野宇紀 （(株)日立製作所） 円柱の型(レジスト)に具材(Sn)を，めっきで詰め込み，ホットプレートで温めると，たこ焼きのできあがり。	UM-4.深い腐海の底（風の谷のナウシカより） 松永忠雄,李相錫（鳥取大学） D-RIE後のSiなので ”深いSiの底” がタイトルですが,遠目で見るとどこか哀愁漂うジブリ作品「風の谷のナウシカ」の腐海の底にも見えますよね?哀愁漂う理由は底の方のパターンが切れておらずに失敗したからだと。。。
UM-5.OFPR 2合徳利 継枝健太,樫村祐貴（東北大学） 溝入れ加工したSi基板に対し，OFPRをスピンコートしました。ベークした結果，溝にたまったレジストが膨らみ，2合徳利に似た形となりました。1合徳利ではなく，2合徳利という部分がポイントです。	UM-6.意外と見たことないかもしれません2 -LED表面- 安藤 毅（千葉工業大学） LEDのデバイス構造を参考にするために撮影したときのものです。この後数万倍まで拡大しましたがつるっとした表面で,製品レベルの半導体表面には貫通転移など欠陥の痕跡を見つけることができませんでした。さすがです。

ミリ部門

MM-1.掘り起こした光ファイバ 近藤拓実（鳥取大学） 接着剤で埋もれた光ファイバを掘り起こし，磨き上げた。	MM-2.実録!全自動源氏パイ製造マシーン 継枝健太,石川泰地（東北大学） FPC作製プロセスの内の絶縁層コーティング過程で混入した気泡が，ポストベイクを経て肥大化した結果，源氏パイ形になってしまった。時期が時期ならチョコレートで提出していた。
MM-3.世界最小径ステッピングモータ用小型磁石 中野正基（長崎大学）,幸村治洋（(株)ミネベアミツミ） 工業・医療用デバイス用のステッピングモータには，ボンド磁石が用いられてきた。ここでは，ボンドなしで磁石粉を固形化し250 µm径まで平滑加工した小型磁石を用い，世界最小径のステッピングモータに仕上げた。	MM-4.天を仰ぐ犬と活火山 継枝健太（東北大学） 酵素電極の参照極上に銀塩化銀を塗布する際に，塗布量が多くなり横に伸びてしまった。銀の淵の形が噴火した活火山のように見え，また離れた銀の部分を目と捉えると天を仰ぐ犬のように見えた。
MM-5.ミリメートル界のパンダも笹がお好き 山形智咲（慶應義塾大学） MEMSとは切っても切り離せない関係の「フォトリソグラフィ」の技術を用いて，1mm大の人間と小さなパンダを描きました。シリコンウエハに塗布したフォトレジストに，UVを照射することで，パターンを描くことができます。	優秀賞 MM-6.マイクロ流体デバイスから虹が顔を出した 笠原崇史,鯉沼祐伍(法政大学),水野潤(早稲田大学) 電極付きマイクロ流体デバイスに充填された，赤・緑・青色電気化学発光性溶液に電圧を印加した結果，デバイスに虹がかかりました。
最優秀賞 MM-7.全集中　水の呼吸 亀田良一（京都大学） 流体デバイスの中で血管と腎臓組織を共培養する際,組織から間質細胞が増殖し,血管を破壊する問題に直面しています.間質細胞 (青: DAPI,水色: αSMA) が四方八方に増殖する様子を「鬼滅の刃」の必殺技に見立てました.	MM-8.微細構造が織りなす大輪の華 吉田光輝（慶應義塾大学） 構造色と呼ばれる微細構造による分光に由来する発色現象を利用しております。本作品では，ハイドロゲル内部にコロイド粒子を規則的に配列した微細構造を構築することで,様々な色の発色を実現しました。
MM-9.4021年のHANIWA 野田和俊（立命館大学） 今から2000年後，MEMSがデバイスの主要部品の時代，昔の廃棄部品の山から，当時のセンサデバイスのQCMが出土した。よく見ると，古墳時代同様に勾玉（水晶），金鏡で構成されているではない